산업설비 사업본부

환경을 생각하는

Clean World High Technology

산업설비 사업본부

INDUSTRIAL

정의

공기 중에 부유하는 입자뿐만 아니라 온도, 습도, 조도, 기류, 공기압 등에 관하여 요구되는 규정에 따라 환경적으로 제어되는 밀폐된 특수한 환경 구역을 말합니다.

I.C.R (INDUSTRIAL CLEAN ROOM)

ICR이 가장 많이 적용되는 분야는 IC, VLSI로 대표되는 반도체 산업이며 최근에는 신소재, 화인 케미컬 등 적용분야가 점차 확대되는 추세입니다.

FFU(FAN FILTER UNIT)SYSTEM

소형 순환 Fan Unit와 ULPA 또는 HEPA Filter를 조합한 다수의 FFU를 천정에 설치하여 청정공기를 순환시키는 방식입니다.

CLEAN BOOTH SYSTEM

CLEAN BOOTH 상부에 FFU 가 내장되고 P.C PANEL로 둘러 쌓여 이동이 가능한 구조물이다.